Wat is ASML?

Chips zijn de ‘hersenen’ van computers en smartphones, maar ze zitten ook in tal van andere apparaten: van wasmachines tot auto’s. Een chip is een stukje silicium waarop een grote hoeveelheid heel kleine elektronische schakelingen (transistors) zitten. De transistors bevatten informatie die in zijn simpelste vorm bestaat uit nullen en enen: een transistor staat ‘aan’ of ‘uit’.

Als een van de weinige bedrijven ter wereld maakt ASML machines waarmee chips kunnen worden gemaakt. ASML levert deze machines aan grote chipmakers, zoals Samsung en Intel. Uiteindelijk belanden chips die zijn gemaakt met machines van ASML in smartphones en computers, maar ook in auto’s, vliegtuigen en huishoudelijke apparaten die dagelijks worden gebruikt door mensen overal ter wereld. De meerderheid van de chips in deze apparaten is gemaakt met een machine van ASML.

Het bedrijf is gevestigd in Veldhoven. Het maakt geen producten die consumenten gebruiken en zelfs geen onderdelen daarvan, maar levert de apparatuur waarmee die onderdelen kunnen worden gemaakt. Daarbij gaat het – in het geval van het nieuwste type chipmachines – om heel grote, buitengewoon ingewikkelde apparaten die meer dan 100 miljoen euro per stuk kosten.

ASML komt voort uit Philips, de gloeilampen- en elektronicafabrikant die onlosmakelijk is verbonden met Eindhoven – de stad waar Veldhoven tegenaan ligt. In het Natuurkundig Laboratorium van Philips, waar ook de cd is uitgevonden, wordt in de jaren 70 een nieuw soort machine ontwikkeld waarmee chips kunnen worden gemaakt: de zogeheten wafer stepper.

Chips worden in die tijd gemaakt door het patroon voor de elektrische schakelingen via een contactafdruk aan te brengen op het basismateriaal, silicium. Daarbij ontstaan vaak beschadigingen. De Philips-machine werkt anders: het patroon wordt op het silicium aangebracht door middel van projectie. Op deze manier is er geen contact nodig, en bovendien kan er nauwkeuriger en kleiner worden geprint.

Om de wafer steppers op de markt te brengen is de bouw van een peperdure fabriek nodig, en dat durft Philips niet aan. Het bedrijf gaat op zoek naar een partner om de risico’s mee te delen. Na een zoektocht over de hele wereld wordt die gevonden in Bilthoven: ASM International, maker van productiemachines voor de chipindustrie.

In 1984 richten Philips en ASM International samen ASM Lithography op, kortweg ASML. Twee jaar later komt de eerste wafer stepper op de markt, een jaar later gevolgd door een nieuw model, met betere lenzen van de bekende Duitse lenzenmaker Carl Zeiss. Grote internationale klanten melden zich, zoals de Amerikaanse chipmaker AMD en computergigant IBM.

ASML is inmiddels een wereldspeler, maar staat soms aan de rand van de afgrond. Om de technologie van zijn machines te verbeteren is zoveel geld nodig dat het moeilijk terug te verdienen is met de verkoop van de machines. In 1992 heeft ASML een noodlening van tientallen miljoenen guldens nodig van moederbedrijf Philips. Dat zit zelf in grote problemen, is met een grootscheepse reorganisatie bezig en heeft net een miljardenlening moeten afsluiten. Toch komt het geld er. Een faillissement van ASML wordt op het nippertje voorkomen.

Aan het einde van hetzelfde jaar vindt ASML de weg omhoog, met een grote order van de chipmaker Taiwan Semiconductor voor een fabriek in Taipei. Een paar jaar later wordt ook Samsung klant. ASML verkoopt steeds meer chipmachines. In 1995 volgt een mijlpaal: ASML wordt zelfstandig en gaat naar de beurs. 60% van de aandelen wordt genoteerd aan de Amerikaanse technologiebeurs Nasdaq, de overige 40% gaat naar de Amsterdamse aandelenbeurs.

De beursgang levert ASML zelfstandigheid op, en veel geld. Dat geld wordt ingezet voor onderzoek naar manieren om chipmachines verder te verbeteren. ASML gaat werken aan een techniek genaamd immersielithografie. Daarbij zorgt een laagje water onder de lens voor een nog dunner lichtstraaltje, waarmee de lijntjes op een chip nog dichter op elkaar kunnen worden geprint. ASML weet hier als eerste succes mee te boeken. Zijn twee overgebleven concurrenten, de Japanse bedrijven Nikon en Canon, laat ASML achter zich.

ASML heeft volledig ingezet op een nieuwe generatie chipmachines, die werkt met EUV-technologie (extreem ultraviolet licht, met een heel korte golflengte). Dit type licht maakt het in theorie mogelijk om nog nauwkeuriger te werken, maar de praktische toepassing is problematisch. Zo heeft EUV-licht het probleem dat het verdwijnt in de lucht, en ook door lenzen volledig wordt geabsorbeerd. De nieuwe machines werken dus met een vacuüm, en met spiegels in plaats van lenzen.

Hoewel de meeste klanten in Azië zitten, blijft ASML in Veldhoven, vlakbij Eindhoven. De chipmaker heeft vestigingen over de hele wereld, maar het onderzoek en de productie blijven in Nederland. Dat heeft vooral te maken met de intensieve manier waarop ASML samenwerkt met zijn zeer gespecialiseerde, high tech toeleveranciers. Dat soort bedrijven zijn volop gevestigd in Eindhoven, op wat wel de ‘slimste vierkante kilometer van Nederland’ wordt genoemd. ASML is een belangrijke speler: het bedrijf geeft miljarden uit aan onderzoek.